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SPEshowashinku盒對盒式干法蝕刻裝置 濺射和離子板
| 參考價: | ￥ 660000 |
| 訂貨量: | 1000臺 |
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)- SPE 產(chǎn)品型號
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訪問次數(shù)：664更新時間：2023-04-11 15:13:14
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產(chǎn)品簡介
| 產(chǎn)地 | 國產(chǎn) |
|---|
真空室主要是配備運輸機(jī)器人的運輸室，由蝕刻室和盒室三個房間組成。
真空室材料由A5052制成，A5052對運輸室，蝕刻室和盒室都進(jìn)行了脫脂處理。
產(chǎn)品介紹
showashinku盒對盒式干法蝕刻裝置 濺射和離子板SPE
showashinku盒對盒式干法蝕刻裝置 濺射和離子板SPE
| 特征 | ||
| 1. | 緊湊型設(shè)備 尺寸（1000mmW×1100mmD×1600mmH） | |
| 2. | 單晶圓系統(tǒng)，生產(chǎn)率高，是批量生產(chǎn)的理想選擇 | |
| 3. | 加工質(zhì)量高 | |
| ? | 單晶圓類型確保高蝕刻均勻性。 | |
| ? | 背面采用非接觸式氣冷系統(tǒng)，不會損壞基板背面 | |
| 4. | 采用高真空排氣裝置 | |
| 5. | 高可維護(hù)性 | |
| ? | 真空室的小型化便于維護(hù) | |
| 6. | 由于設(shè)備外形緊湊，安裝位置沒有限制 | |
| 1. | 設(shè)備配置 | ||||||||||
| 真空室主要是配備運輸機(jī)器人的運輸室，由蝕刻室和盒室三個房間組成。 真空室材料由A5052制成，A5052對運輸室，蝕刻室和盒室都進(jìn)行了脫脂處理。 | |||||||||||
| 2. | 排氣系統(tǒng) | ||||||||||
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| 3. | 性能 | ||||||||||
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| 4. | 供電系統(tǒng) | ||||||||||
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| 5. | 氣體引入系統(tǒng) | ||||||||||
| CF/SF、氦、O2 質(zhì)量流量控制器 3 | |||||||||||
| 6. | 控制系統(tǒng) | ||||||||||
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| 7. | 外部尺寸 | ||||||||||
| 設(shè)備本體 1000mmW×1100mmD×1600mmH 設(shè)備重量 1000Kg | |||||||||||
| 8. | 公用事業(yè) | ||||||||||
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