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CDG045D高精度真空計

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更新時間：2024-03-07 15:37:26瀏覽次數(shù)：205次

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武漢泰和豐順光電有限公司

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產(chǎn)品簡介

CDG045D高精度真空計 INFICON SKY CDG045D 壓力計是實現(xiàn)高精確總壓測量與控制的理想之選。CDG045D 真空計溫度控制在 45 °C，具有的信號穩(wěn)定性和可重復(fù)性。在 50 mTorr 至 1000 Torr 滿刻度范圍內(nèi)均可使用，帶有所有常用類型的法蘭和現(xiàn)場總線接口，能夠提供 0 至 10 V、不受氣體類型......

詳細介紹

益處

擁有成本更低，預(yù)熱速度快 50%，節(jié)能，低功耗
易于集成，各種滿刻度、法蘭和接口，標配兩個設(shè)定點
輕松一鍵歸零或遠程信號歸零指令，可調(diào)零點偏移
診斷端口便于快速服務(wù)與維護
兩年保修服務(wù)，的加熱概念和真空計保護延長了使用壽命
的信號穩(wěn)定性和可重復(fù)性，即使是最嚴苛的等離子應(yīng)用，都無需長期執(zhí)行重新校準
合規(guī)性和標準：CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型應(yīng)用

蝕刻、CVD、PVD 及其他半導體生產(chǎn)過程
化學和腐蝕性真空過程
一般薄膜和真空過程
作為基準儀器監(jiān)控測試儀器是否符合國際標準
符合傳遞標準，確保測量可追溯性

規(guī)格

類型		1000 Torr, 1100 mbar	500 ... 1 Torr / mbar	0.5 ... 0.05Torr / mbar
精度 (1)	% of reading	0.15	0.15	0.15
溫度效應(yīng)
零點	percent FS/°C	0.0025	0.0025	0.005
滿量程	% of reading / °C	0.01	0.01	0.01
壓力，	kPa (absolute)	400	260	130
分辨率	percent FS	0.003	0.003	0.003
讀數(shù)	percent FS	0.01	0.01	0.01
建議的讀數(shù)	percent FS	0.05	0.05	0.05
建議的控制壓力	percent FS	0.5	0.5	0.5
溫度
運行（環(huán)境）	°C	+10 … +40	+10 … +40	+10 … +40
在法蘭處烘烤	°C	≤110	≤110	≤110
貯存	°C	–20 … +65	–20 … +65	–20 … +65
電源電壓		+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)	+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)	+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
功耗
加熱時	W	≤12	≤12	≤12
運行溫度	W	≤8	≤8	≤8
輸出信號（模擬）	V (dc)	0 … +10	0 … +10	0 … +10
反應(yīng)時間 (2)	ms	30	30	130 / 30 (3)
保護等級		IP 40	IP 40	IP 40
標準
CE 合規(guī)		EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 認證		UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1	UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1	UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1
SEMI 合規(guī)