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更新時(shí)間：2024-03-12 12:52:56瀏覽次數(shù)：157次

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詳細(xì)介紹

SLC-17系列產(chǎn)品都是17 mm寬，8.5 mm高。它們剛性非常好，非常適合穩(wěn)定性和高精度為要?jiǎng)?wù)的微納位移系統(tǒng)。盡管它們的尺寸很小，用于微納位移任務(wù)的位置傳感器仍然可以集成到每個(gè)位移器中，而不影響位移器的外形尺寸。由于這種高集成度，SLC-1720-S是最小的的具有宏觀行程范圍的閉環(huán)納米位移器。

參數(shù)	SLC-1720	SLC-1730	SLC-1740	SLC-1750	SLC-1760	SLC-1770	SLC-1780
行程	12mm	21mm	26mm	31mm	41mm	46mm	51mm
開環(huán) 分辨率	< 1 nm
速度	> 20 mm/s
垂直負(fù)載	20N	30N
體積	22x17 x8.5mm3	30x17x 8.5mm3	40x17 x8.5mm3	50x 17x8.5mm3	60x17 x8.5mm3	70x17 x8.5mm3	80x17 x8.5mm3
重量	13g	20g	26g	32g	38g	45g	51g
可選閉環(huán)傳感器S
傳感器分辨率	1nm (MCS2)
重復(fù) 精度	±25nm (MCS2)	±30nm (MCS2)	± 40nm (MCS2)	± 50nm (MCS2)	±60nm (MCS2)	± 70nm (MCS2)	± 80nm (MCS2)
可選閉環(huán)傳感器L
傳感器分辨率	4nm (MCS2) 50 nm (HCU)
重復(fù) 精度	±50nm (MCS2) ± 1 µm (H CU)	±60nm (MCS2) ± 1µm (H CU)	± 80 nm (MCS2) ± 1 µm (HCU)	±100nm (MCS2) ± 1 µm (H CU)	±120nm (MCS2) ±1µm (H CU)	±140nm (MCS2) ± 1 µm (H CU)	±160nm (MCS2) ± 1 µm (H CU)