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高溫真空探針臺(tái)

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產(chǎn)品型號

品       牌

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更新時(shí)間:2024-04-25 14:23:45瀏覽次數(shù):75次

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產(chǎn)品簡介

高溫真空探針臺(tái)KT-Z1604TZ,可單選高溫或低溫等相應(yīng)組件,溫度可達(dá)到400℃。以便測量分析溫度變化時(shí)芯片性能參數(shù)的變化。腔體內(nèi)被測芯片在真空環(huán)境中有效避免易受氧化半導(dǎo)體器件接觸空氣所帶來的測試結(jié)果誤差。

詳細(xì)介紹

  高溫真空探針臺(tái)KT-Z1604TZ

  真空探針臺(tái)可實(shí)現(xiàn)高真空環(huán)境下的高溫及低溫電學(xué)性能測量,真空腔一體成型,具有設(shè)計(jì)合理,真空度穩(wěn)定,溫控精度及機(jī)械精度高等特點(diǎn);根據(jù)測試溫度范圍不同,可單選高溫或低溫等相應(yīng)組件,溫度可達(dá)到400℃,低溫部分采用液氮或液氦冷卻組件,溫度可低至-196℃,;真空系統(tǒng)可選機(jī)械泵或分子泵系統(tǒng),真空度可達(dá)到10-3Torr或10-6Tor。

  高低溫真空探針臺(tái)應(yīng)用:

  可應(yīng)用于低溫或高溫真空環(huán)境下被測樣品的電學(xué)性能測試分析,如:半導(dǎo)體/微電子,電子,機(jī)電,物理,化學(xué),材料,光電,納米,微機(jī)電/MEMS,生物芯片,航空航天等科學(xué)研究領(lǐng)域,以及IC設(shè)計(jì)/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。

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高溫真空探針臺(tái)KT-Z1604TZ參數(shù)

 

 

真空腔體

 

腔體材質(zhì)

 

304不銹鋼

 

上蓋開啟

 

鉸鏈側(cè)開

 

加熱臺(tái)材質(zhì)

 

304不銹鋼

 

內(nèi)腔體尺寸

 

φ160x90mm

 

觀察窗尺寸

 

Φ70mm

 

加熱臺(tái)尺寸

 

φ60mm

 

觀察窗熱臺(tái)間距

 

75mm

 

加熱臺(tái)溫度

 

﹣196~350℃

 

加熱臺(tái)溫控誤差

 

±1℃

 

真空度

 

機(jī)械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

 

允許正壓

 

≤0.1MPa

 

真空抽氣口

 

KF25真空法蘭

 

氣體進(jìn)氣口

 

3mm-6mm卡套接頭

 

電信號接頭

 

SMA轉(zhuǎn)BNC X 4

 

電學(xué)性能

 

絕緣電阻 ≥4000MΩ   介質(zhì)耐壓 ≤500V

 

探針數(shù)量

 

4探針

 

探針材質(zhì)

 

鎢針  

 

探針尖

 

10μm

 

探針移動(dòng)平臺(tái)

 

X軸移動(dòng)行程

 

30mm    ±15mm

 

X軸控制精度

 

≤0.01mm

 

Y軸移動(dòng)行程

 

13mm    ±12.5mm

 

Y軸控制精度

 

≤0.01mm

 

Z軸移動(dòng)行程

 

13mm    ±12.5mm

 

Z軸控制精度

 

≤0.01mm

 

電子顯微鏡

 

顯微鏡類別

 

物鏡

 

物鏡倍數(shù)

 

0.7-4.5倍

 

工作間距

 

90mm

 

相機(jī)

 

sony 高清

 

像素

 

1920※1080像素

 

圖像接口

 

VGA

 

LED可調(diào)光源

 

 

顯示屏

 

8寸

 

放大倍數(shù)

 

19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm,最小可分辨0.08mm

 

 

 

 

 

關(guān)鍵詞:芯片 電子顯微鏡 顯微鏡

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