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水冷型濺射儀

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水冷型濺射儀，KT-Z1650PVD，桌面式小型濺射儀，內(nèi)配自動(dòng)電動(dòng)擋板，可保護(hù)樣品或清洗靶材。

詳細(xì)介紹

水冷型濺射儀，KT-Z1650PVD，是一種緊湊型全自動(dòng)濺射鍍膜機(jī)，使用非常簡(jiǎn)單。由于*的插件概念，該設(shè)備很容易配置濺射或蒸發(fā)，只需更換工藝頭。涂層前后可進(jìn)行等離子處理。模塊化設(shè)計(jì)使得避免金屬和碳沉積之間的交叉污染變得容易。

高度調(diào)節(jié)和傾斜。它可以安裝一個(gè)可選的變速旋轉(zhuǎn)階段或旋轉(zhuǎn)行星階段，每個(gè)選擇持有不同的樣本和存根類型。在所有樣品階段，膜厚監(jiān)測(cè)都作為標(biāo)準(zhǔn)。.
•高性能濺射、碳涂層和等離子處理
•獲得的碳線軸–最多50個(gè)碳涂層，無(wú)需用戶干預(yù)
•*的即插即用濺射和碳涂層模塊
•真空性能和快速泵送時(shí)間

水冷型濺射儀，技術(shù)參數(shù)；

控制方式	7寸人機(jī)界面手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制
濺射電源	直流濺射電源
鍍膜功能	0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序
功率	≤1000W
輸出電壓電流	電壓≤1000V 電流≤1A
真空	機(jī)械泵 ≤5Pa（5分鐘）分子泵≤5*10^-3Pa
濺射真空	≤30Pa
擋板類型	電控
真空腔室	石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm
樣品臺(tái)	可旋轉(zhuǎn)φ62 （可安裝φ50基底）
樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速	8轉(zhuǎn)/分鐘
樣品濺射源調(diào)節(jié)距離	40-105mm
真空測(cè)量	皮拉尼真空計(jì)（已安裝測(cè)量范圍10E5Pa 1E-1Pa）
預(yù)留真空接口	KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口