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  • 化學(xué)氣相沉積（PECVD）

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  • 德國SENTECH 電感耦合化學(xué)氣相沉積

    SI 500D等離子沉積系統(tǒng)是ICP-PECVD設(shè)備，利用ICP高密度等離子源來沉積電介質(zhì)薄膜?？稍跇O低溫度下( 100ºC)沉積高質(zhì)量SiO2, S...

    型號： SI 500 D 所在地：北京市參考價： ￥10更新時間：2025/5/16 8:07:04 對比
    化學(xué)氣相沉積PECVD
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