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當(dāng)前位置:北京中科復(fù)華科技有限公司>>深紫外光刻機(jī)>>高分辨深紫外光刻機(jī)>> PhableR瑞士高分辨深紫外光刻機(jī)
產(chǎn)品型號(hào)PhableR
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地北京市
更新時(shí)間:2025-05-13 09:38:44瀏覽次數(shù):138次
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PhableR具備以低成本光刻系統(tǒng)曝光高分辨率周期性結(jié)構(gòu)的能力。它類似于傳統(tǒng)的紫外曝光機(jī),將涂有光刻膠的晶圓接近掩模版,然后用一束紫外深紫外光照射。由于Eulitha的突破性PHABLE曝光技術(shù),分辨率不再受到不希望出現(xiàn)的衍射效應(yīng)的限制。如亞微米周期線性光柵和二維圖案等結(jié)構(gòu)(如六方和四方晶格曝光),均具有高均勻性和保真度。
PhableR 100 DUV光刻機(jī)是一款針對(duì)科研和研發(fā)的基礎(chǔ)手動(dòng)機(jī)臺(tái)。對(duì)于納米周期性結(jié)構(gòu),不需要復(fù)雜的工藝過(guò)程或經(jīng)驗(yàn),就可以制作大面積,均勻性和重復(fù)性好的一維、二維光柵結(jié)構(gòu)。有關(guān)設(shè)備和服務(wù)的一些特點(diǎn):
1. 設(shè)備操作簡(jiǎn)單
2. 與前后道工藝和配套設(shè)備兼容性性好
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