SECS / GEM通訊無氧烘箱，無氧烤箱 概述

SECS / GEM通訊無氧烘箱，無氧烤箱在工作時(shí)，工作室內(nèi)充滿了惰性氣體CO2,N2,防止材料在烘烤時(shí)被氧化。無氧化烘箱在工業(yè)中的用途：IC包裝，LCD,晶體管，傳感器，二極管，石英晶體振蕩器，混合集成電路板……設(shè)備可以使用TCP / IP（使用HSMS標(biāo)準(zhǔn)，SEMI E37）或基于RS-232的協(xié)議與支持GEM的主機(jī)進(jìn)行通信。通常這兩種協(xié)議都受支持。每臺設(shè)備都可以使用由GEM的通用SECS-II消息進(jìn)行監(jiān)控和控制

技術(shù)參數(shù)

1.主要技術(shù)指標(biāo)

Ø  含氧量：< 100ppm;

Ø  溫度范圍： RT（室溫）+10～ +200℃；

Ø  溫度均勻度：±1℃;

2.箱體結(jié)構(gòu)

Ø  外殼材料：優(yōu)質(zhì)冷軋板，表面磷化處理后平光漆（顏色米色）

Ø  內(nèi)膽材料：優(yōu)質(zhì)鏡面不銹鋼滿焊制作

Ø  隔   板：3層隔條配3層不銹鋼網(wǎng)版，每層承重50Kg

Ø  保溫材料：厚度90毫米硅酸鋁保溫棉，保溫性能良好

Ø  溫控裝置：智能LED雙數(shù)顯高精度溫度控制系統(tǒng)，控溫精度±1℃，溫度為室溫至300℃任意調(diào)節(jié)，并具有PID自整定，自動(dòng)恒溫等功能

?特點(diǎn)

SECS / GEM是用于設(shè)備到主機(jī)數(shù)據(jù)通信的半導(dǎo)體設(shè)備接口協(xié)議。在自動(dòng)化工廠中，接口可以啟動(dòng)和停止設(shè)備處理，收集測量數(shù)據(jù)，更改變量并為產(chǎn)品選擇配方。 SECS（SEMI設(shè)備通信標(biāo)準(zhǔn)）/ GEM（通用設(shè)備模型）標(biāo)準(zhǔn)以確定的方式完成所有這些工作。