超純水機(jī)的水質(zhì)監(jiān)測(cè)標(biāo)準(zhǔn)一般情況下，純水是以電導(dǎo)率，超純水是以電阻率來(lái)計(jì)量。電導(dǎo)率的計(jì)算公式如下：X是電導(dǎo)率, F 是法拉第常數(shù), Ci 是某種離子濃度， Zi 是離子的電荷數(shù) ，Ui指離子遷移率，公式：X = FΣ CiZiUi理論上，*不含離子的超純水在25℃時(shí)電導(dǎo)率為0.055μS/cm。 電阻值是電導(dǎo)率的倒數(shù)。 那么 R=1/X ,1/0.055=18.1818約為 18.2 MΩ.cm

在25oC時(shí)，NaCl濃度與電導(dǎo)率/電阻率值的關(guān)系：

     一般情況下我們無(wú)法在離線情況下測(cè)量超純水的電阻率或者電導(dǎo)率。因?yàn)楫?dāng)超純水暴露在外界環(huán)境中時(shí)，會(huì)被外界環(huán)境污染。實(shí)驗(yàn)室里的空氣中含有大量的離子，這些離子可以進(jìn)入超純水，從而影響超純水的水質(zhì)。另外，測(cè)量電導(dǎo)率所用到的儀器（燒杯，電阻率儀/探針）也會(huì)帶入離子污染物。正如電導(dǎo)率的計(jì)算公式中所示，任何離子的增加都會(huì)影響電導(dǎo)率值，因?yàn)殡妼?dǎo)率離子的種類和其所帶電荷成正比。