等離子體工業(yè)廢氣處理技術(shù)作為一種新的環(huán)境污染治理技術(shù)，由于其對污染物分子的分解且處理能耗低等特點(diǎn)，為工業(yè)廢氣的處理開辟了一條新的思路。
 

　　等離子體工業(yè)廢氣處理原理
 

　　低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質(zhì)第四態(tài)，當(dāng)外加電壓達(dá)到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產(chǎn)生包括電子、各種離子、原子和自由基在內(nèi)的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內(nèi)發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應(yīng)以達(dá)到降解污染物的目的。一般氣體放電，將會產(chǎn)生等離子，而這種放電現(xiàn)像就是通過某種機(jī)制使一個或者多個電子從氣體原理或分子中分離出來，形成氣體媒質(zhì)，這種媒質(zhì)就稱為電離氣體，如果外電場產(chǎn)生了電離氣體，傳導(dǎo)電流就形成了，這種現(xiàn)象就被稱為氣體放電。而這種技術(shù)，就是工業(yè)廢氣處理新的一種原理。
 

　　其凈化作用機(jī)理包含兩個方面：
 

　　1、在產(chǎn)生等離子體的過程中，高頻放電所產(chǎn)生的瞬間高能量能夠打開某些有害氣體分子的化學(xué)能，如：氨、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC類，苯、甲苯、二甲苯的分子鏈結(jié)構(gòu)，使有機(jī)或無機(jī)高分子惡臭化合物分子鏈分解為單質(zhì)原子或無害分子。
 

　　2、等離子體中包含大量的高能電子、正負(fù)離子、激發(fā)態(tài)粒子和具有強(qiáng)氧化性的自由基，這些活性粒子和部分廢氣分子碰撞結(jié)合，在電場作用下，廢氣分子處于激發(fā)態(tài)，當(dāng)廢氣分子獲得的能量大于其分子鍵能的結(jié)合能時，廢氣分子的分子鍵斷裂，直接分解成單質(zhì)原子或由單一原子構(gòu)成得無害氣體分子。同時產(chǎn)生的大量•OH、•HO2、•O等活性自由基和氧化性*的O3，能與有害氣體分子發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，后生成無害產(chǎn)物。
 

　　3、物理作用表現(xiàn)在具有荷電集塵作用。等離子體中的大量電子與顆粒污染物發(fā)生非彈性碰撞并粘附其表面從而使其荷電，在電場作用下，顆粒污染物被集塵極收集。
 

　　4、生物作用表現(xiàn)在具有消毒殺菌之功效。機(jī)理為：等離子體中的正負(fù)粒子使微生物表面產(chǎn)生的電能剪切力大于其細(xì)胞膜表面張力，致使細(xì)胞膜遭到破壞而導(dǎo)致微生物死亡。