什么是勻膠機(jī)？


　　勻膠機(jī)有很多種稱謂，英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又稱甩膠機(jī)、勻膠臺、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機(jī)，總的來說，他們原理都是一樣的，既在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。


　　如何選購合適的勻膠機(jī)？


　　針對目前勻膠機(jī)市場品牌眾多，良莠不齊現(xiàn)象，筆者結(jié)合自己多年從事勻膠機(jī)技術(shù)服務(wù)的實(shí)際經(jīng)驗(yàn)。幫助廣大用戶提高辨別能力，為用戶提供了直觀明確的選擇標(biāo)準(zhǔn)。


　　從其原理來說，我們可以看出選購勻膠機(jī)需要注意的幾個(gè)細(xì)節(jié)“


　　1、旋轉(zhuǎn)速度：轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實(shí)際轉(zhuǎn)速如果誤差很大，對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準(zhǔn)確的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的。國產(chǎn)的某些勻膠機(jī)只能提供轉(zhuǎn)速范圍，并不能標(biāo)定實(shí)時(shí)的轉(zhuǎn)速。進(jìn)口的勻膠機(jī)雖然大部分能標(biāo)定轉(zhuǎn)速，但是大部分轉(zhuǎn)速精度沒有標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)定。建議購買轉(zhuǎn)速控制方面有認(rèn)定標(biāo)準(zhǔn)的，比如：美國NIST標(biāo)準(zhǔn)等。


　　2、 真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)造


　　真空泵一定要無油的，壓力標(biāo)定準(zhǔn)確，國內(nèi)生產(chǎn)的無油真空泵實(shí)在不敢恭維。因?yàn)槿魏蔚挠臀鄱伎赡芏氯婵展艿溃绻婵瘴搅档?，會?dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況，還會讓滴膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)造成*堵塞。用過國產(chǎn)勻膠機(jī)的客戶常常會關(guān)心怎么清洗的問題，這一點(diǎn)許多國外的勻膠機(jī)做得不錯(cuò)，他們有通過聯(lián)動機(jī)制，如果真空吸附力不夠的時(shí)候，不會開始旋轉(zhuǎn)。


　　3、 材質(zhì)的選擇


　　對于半導(dǎo)體化工行業(yè)的應(yīng)用來說，材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵，大部分勻膠機(jī)采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì)，因?yàn)檫@種材質(zhì)的成本很低，不銹鋼的對于各類化工膠液的抗腐蝕性不太好，塑料對于較高溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話，將會導(dǎo)致旋涂時(shí)，時(shí)高時(shí)低的顛簸狀態(tài)。自然無法得到好的旋涂效果。目前有些國外品牌采用天然聚丙烯或者聚四氟乙烯（特氟?。┎馁|(zhì)。這兩種材質(zhì)具備綠色環(huán)保、節(jié)約資源、重量輕、強(qiáng)度大、抗沖擊性能好、堅(jiān)固耐用、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點(diǎn)。


　　筆者提醒：


　　在選購勻膠機(jī)的過程中，除了商家的宣傳外，用戶更應(yīng)掌握必要的空調(diào)知識，從技術(shù)指標(biāo)上判別勻膠機(jī)的性能。而從目前市場上看，品牌的勻膠機(jī)系統(tǒng)在性能上更具優(yōu)勢。例如：MYCRO MSC-650系列勻膠旋涂儀轉(zhuǎn)速獲NIST標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證。其中MYCRO MSC-400B型高精度數(shù)碼控制器的勻膠旋涂儀，非常方便設(shè)定速度和加速度程序段，20個(gè)51步程序段或者手動模式，100~8000RPM的穩(wěn)定轉(zhuǎn)速，也可特別訂制1~12000RPM的轉(zhuǎn)速，可重復(fù)性達(dá)到+/-0.5RPM，分辨率小于0.5RPM；MSC-400B數(shù)碼速度控制器采用的是一個(gè)高計(jì)數(shù)位的光學(xué)編碼器輸入至伺服馬達(dá)控制器，其設(shè)置點(diǎn)精度小于0.006%，獲美國NIST激光測量標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證，無需校準(zhǔn)；


　　NIST為美國國家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究所National Institute of Standards and Technology，是一個(gè)聯(lián)邦政府制定標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)章制度的機(jī)構(gòu)。專門開發(fā)和推廣測量方法、標(biāo)準(zhǔn)以提高生產(chǎn)、促進(jìn)貿(mào)易和改善生活質(zhì)量。 NIST向美國工業(yè)和研究部門、政府機(jī)構(gòu)等提供多達(dá)1300種以上的標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，用來進(jìn)行現(xiàn)場儀器標(biāo)定，質(zhì)量控制，檢驗(yàn)測量精度以及開發(fā)新的測量方法。