在眾多的少子壽命測(cè)量方法中，MDP（微波檢測(cè)光電導(dǎo)率）采用改進(jìn)的少子壽命檢測(cè)技術(shù)，是微波檢測(cè)光電導(dǎo)衰減法檢測(cè)儀中常用的儀器之一，少子壽命測(cè)試儀原理從載流子輸運(yùn)原理出發(fā)，建立廣義速率方程和偏微分方程系統(tǒng)。擁有的靈敏度和分辨率，很大程度提升在線檢測(cè)的速度和質(zhì)量，快速出具少子壽命測(cè)試的實(shí)驗(yàn)報(bào)告。
       

MDPlinescan被設(shè)計(jì)成一個(gè)易于集成的OEM設(shè)備，可以集成到各種自動(dòng)化檢測(cè)線。關(guān)鍵的是在傳送過程中進(jìn)行少子壽命掃描。樣品通常由測(cè)量頭下面的傳送帶或機(jī)器人系統(tǒng)攜帶。應(yīng)用實(shí)例包括從晶磚到晶圓檢測(cè)，單晶少子壽命測(cè)試、多晶少子壽命測(cè)試，每塊晶圓的測(cè)量速度小于一秒。電池生產(chǎn)線上的來料質(zhì)量檢查是經(jīng)典的通用案例，也用于鈍化和擴(kuò)散后的工藝質(zhì)量檢查，還有許多其他特殊的應(yīng)用的可能性。易于集成，只需要以太網(wǎng)連接和電源。
 

MDPlinescan W       

包括一個(gè)額外的電阻率測(cè)量選項(xiàng)。        

優(yōu)點(diǎn)：         

◇  在µ-PCD或穩(wěn)態(tài)激勵(lì)條件下線掃描少數(shù)載流子壽命和電阻率是這個(gè)小型設(shè)備的重要功能；        

◇  OEM設(shè)備可以集成到多晶或單晶硅片的生產(chǎn)線上，在不同的制備階段，直至器件、磚塊或晶錠。        

◇  小巧的尺寸和標(biāo)準(zhǔn)的自動(dòng)化接口使其易于集成。重點(diǎn)是測(cè)量結(jié)果的長(zhǎng)期可靠性和精確性。        

        示范性線狀掃描圖        

細(xì)節(jié)：                  

◇  允許單晶圓片調(diào)查                 

◇  不同的晶圓級(jí)有不同的配方        

◇  監(jiān)控物料、工藝質(zhì)量和穩(wěn)定性     

技術(shù)規(guī)格: