高精度的差分長度和角度測量
傳感器頭由不銹鋼制成
長期穩(wěn)定性高
差分測量使環(huán)境影響更小化
SIOS的超穩(wěn)定差動(dòng)激光干涉儀SP 5000 DI具有的熱穩(wěn)定性，可用于研究和開發(fā)中的長期測量，例如材料測試。得益于其設(shè)計(jì)，借助外部參考光束，可以將測量系統(tǒng)放置在距測量位置更長的距離處，而不會(huì)明顯影響測量的分辨率或穩(wěn)定性。干涉儀的長度分辨率為5 pm，這歸功于測量系統(tǒng)的微分原理，即使在正常實(shí)驗(yàn)室條件下也可以實(shí)現(xiàn)。
如果使用傾斜不變反射器進(jìn)行長度測量，則測量范圍為幾米。該系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計(jì)，因此可以適應(yīng)特定的測量任務(wù)?？梢院唵吻议L期穩(wěn)定地進(jìn)行調(diào)整。在SP 5000 DI干涉儀的基礎(chǔ)上構(gòu)建多軸系統(tǒng)還可以進(jìn)行多坐標(biāo)測量。
位移測量范圍：5 m
位移分辨率：5 pm
角度測量范圍
帶反射器：±12.5°
帶平面鏡（建議距離≤2m）：±1.5弧分
光束距離（標(biāo)準(zhǔn)）：21 mm
波長：632.8 nm
HeNe激光器的頻率穩(wěn)定性（預(yù)熱時(shí)間之后）：2·10-8
HeNe激光器的預(yù)熱時(shí)間：10 ... 20 min
工作溫度范圍：15 ... 30°C
測量反射鏡的位移速度：max.3 m /s
傳感器頭和電子單元之間的電纜長度：3 m，max.10 m
電源：100 ... 240 VAC / 47 ... 63 Hz
尺寸（長x寬x高）
傳感器頭（帶基板）：150 x 140 x 43 mm
電子供應(yīng)和評(píng)估單元（標(biāo)準(zhǔn)）：450 x 400 x 150 mm
電子供應(yīng)和評(píng)估單元（緊湊）：250 x 400 x 150 mm
重量
感測頭：2.0 kg
底盤：1.5 kg
