工業(yè)和研究中的許多應用都需要高精度的同時位移和角度測量。快速設置和簡單的調(diào)整尤為重要。三光束激光干涉儀是一種精密的長度測量設備，將三個干涉儀組合在一個設備中。在所有三個測量通道中使用相同的高度穩(wěn)定的激光頻率。因此，可以以納米精度同時測量三個長度值?？梢愿鶕?jù)兩個長度值之間的差異以及校準的光束距離來高精度確定相應的角度。

該系統(tǒng)采用模塊化設計，因此可以適應多種測量任務。傳感器頭的光纖耦合和可選的集成光束方向檢測功能支持輕松操作和調(diào)節(jié)。三光束干涉儀的設計緊湊而堅固。這使其非常適合工業(yè)和研究中的高精度測量以及作為OEM儀器。對于較大的測量范圍或校準任務，建議使用無線溫度傳感器或氣候測量站LCS。