機(jī)電大信號(hào)應(yīng)變和極化測(cè)量。

壓電小信號(hào)系數(shù)和介電常數(shù)與直流偏置電壓的關(guān)系。如果已知?jiǎng)偠戎?，則可以使用附加的aixPlorer軟件工具從這些值得出耦合系數(shù)。

電氣和機(jī)電性能疲勞。

作為電氣薄膜測(cè)試的創(chuàng)新者，aixACCT Systems已將的雙光束技術(shù)擴(kuò)展到可商用的雙光束激光干涉儀系統(tǒng)，該系統(tǒng)可進(jìn)行長(zhǎng)達(dá)8英寸的晶圓表征。用于測(cè)量d33的雙光束激光干涉儀（aixDBLI）可提供經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的精度（x切割石英），可達(dá)0.2 pm / V。該系統(tǒng)的主要特點(diǎn)是單次測(cè)量的采集時(shí)間極短，僅為幾秒鐘。基于新的數(shù)據(jù)采集算法，測(cè)量速度提高了100倍。這使得比較了以相同激勵(lì)頻率記錄的薄膜的電氣和機(jī)械數(shù)據(jù)。由于差分測(cè)量原理，消除了樣品彎曲的影響，這是使用原子力顯微鏡（AFM）進(jìn)行此類(lèi)測(cè)量的主要障礙。