產(chǎn)品介紹
機電大信號應變和極化測量。
壓電小信號系數(shù)和介電常數(shù)與直流偏置電壓的關(guān)系。如果已知剛度值，則可以使用附加的aixPlorer軟件工具從這些值得出耦合系數(shù)。
電氣和機電性能疲勞。
作為電氣薄膜測試的創(chuàng)新者，aixACCT Systems已將的雙光束技術(shù)擴展到可商用的雙光束激光干涉儀系統(tǒng)，該系統(tǒng)可進行長達8英寸的晶圓表征。用于測量d33的雙光束激光干涉儀（aixDBLI）可提供經(jīng)過驗證的精度（x切割石英），可達0.2 pm / V。該系統(tǒng)的主要特點是單次測量的采集時間極短，僅為幾秒鐘?；谛碌臄?shù)據(jù)采集算法，測量速度提高了100倍。這使得比較了以相同激勵頻率記錄的薄膜的電氣和機械數(shù)據(jù)。由于差分測量原理，消除了樣品彎曲的影響，這是使用原子力顯微鏡（AFM）進行此類測量的主要障礙。
產(chǎn)品參數(shù)
分辨率：1 pm通過x-cut Quartz測試
位移/應變測量：
50 Hz-5 kHz
100 mV至10 V
Max.25 V（可選）
壓電d33系數(shù)：
偏壓（1 mHz至1 Hz）：100 mV至10 V
Max.25 V（可選）
小信號（1 kHz至10 kHz）：100 mV至10 V
電致伸縮M33：與d33相似
C（V）測量：
偏壓（1 mHz至1 Hz）：100 mV至10 V
Max.25 V（可選）
小信號（1 kHz至10 kHz）：100 mV至10 V
