藥液清洗機(jī)臺(tái)是利用化學(xué)藥液(如酸堿溶液、有機(jī)溶劑等)對精密部件表面進(jìn)行高效清潔的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、電子、汽車零部件等領(lǐng)域。通過多槽式或噴淋式清洗結(jié)構(gòu),結(jié)合自動(dòng)化控制技術(shù),設(shè)備可精準(zhǔn)去除油污、顆粒、氧化物、光刻膠等污染物,滿足納米級潔凈度要求,是保障產(chǎn)品質(zhì)量與生產(chǎn)效率的關(guān)鍵設(shè)備。
核心優(yōu)勢與特點(diǎn)
多工藝兼容
支持酸堿清洗、有機(jī)溶劑清洗、超聲波輔助清洗等多種工藝,適用于不同材質(zhì)(如硅片、金屬、陶瓷)與污染類型(如油污、顆粒、氧化層)。
多槽分段設(shè)計(jì)(如清洗槽、漂洗槽、干燥槽),實(shí)現(xiàn)全流程自動(dòng)化處理,確保污染物清除。
高精度與無損傷清洗
采用高純度藥液循環(huán)系統(tǒng),避免二次污染,表面潔凈度可達(dá)納米級標(biāo)準(zhǔn)。
溫和清洗模式(如低溫漂洗、軟噴淋)保護(hù)精密部件表面,避免劃傷或腐蝕。
智能化控制與自動(dòng)化操作
集成PLC與觸摸屏操作系統(tǒng),支持參數(shù)預(yù)設(shè)(如藥液濃度、溫度、清洗時(shí)間),實(shí)時(shí)監(jiān)控清洗狀態(tài),確保工藝一致性。
可選配機(jī)械臂或傳送帶實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化上下料,提升效率并降低人工成本。
節(jié)能環(huán)保設(shè)計(jì)
藥液循環(huán)利用系統(tǒng)減少化學(xué)試劑消耗,廢液集中處理模塊符合環(huán)保要求。
加熱與冷卻模塊優(yōu)化能源使用,降低運(yùn)營成本。
廣泛適用性與定制化服務(wù)
兼容多種尺寸與類型的工件(如半導(dǎo)體晶圓、光伏硅片、汽車零部件),支持單片或批量清洗。
模塊化設(shè)計(jì)可根據(jù)客戶需求定制槽體數(shù)量、清洗工藝及自動(dòng)化程度,適應(yīng)不同行業(yè)需求。
技術(shù)參數(shù)
適用工件:半導(dǎo)體晶圓(12英寸及以下)、光伏硅片、金屬零件、玻璃基板等
清洗方式:槽式浸泡、噴淋清洗、超聲波輔助清洗(可選)
藥液類型:酸堿溶液、有機(jī)溶劑、去離子水等
清洗精度:表面顆粒去除率≥99.9%,殘留污染≤0.1nm
產(chǎn)能:每小時(shí)處理量視工藝復(fù)雜度與工件尺寸而定(如12英寸晶圓XX片/小時(shí))
控制系統(tǒng):PLC自動(dòng)化控制,支持遠(yuǎn)程監(jiān)控與數(shù)據(jù)記錄
藥液清洗機(jī)臺(tái)以其高效、精密、多場景適用的特點(diǎn),成為現(xiàn)代工業(yè)清洗的核心設(shè)備。通過化學(xué)藥液與智能化控制的