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上海貝丁漢工業(yè)自動(dòng)化設(shè)備有限公司


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3D激光干涉儀（型號(hào)：ZLM900-3D，德國(guó)JENAer公司生產(chǎn)，）

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地上海

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更新時(shí)間：2025-03-07 11:33:09瀏覽次數(shù)：23次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

3D激光干涉儀--同步測(cè)量被測(cè)物體的位移、偏擺角和俯仰角激光器和鏡組數(shù)據(jù)處理器光學(xué)鏡組世界范圍內(nèi)，同類產(chǎn)品中效率精度的干涉儀

詳細(xì)介紹

3D激光干涉儀--同步測(cè)量被測(cè)物體的位移、偏擺角和俯仰角 
激光器和鏡組
 		 數(shù)據(jù)處理器 
 		 光學(xué)鏡組 
 

世界范圍內(nèi)，同類產(chǎn)品中效率精度的干涉儀。

  • 三軸路外差式激光干涉儀，用于位移、俯仰角和偏擺角的同步測(cè)量
  • 高靈活性調(diào)整模塊，方便安裝和拆卸
  • 動(dòng)態(tài)測(cè)量速度4m/s，實(shí)時(shí)顯示三個(gè)軸路的測(cè)量數(shù)據(jù)
  • 小型反射鏡，帶有磁性固定裝置
  • 適用于筆記本電腦、PCI和PXI數(shù)據(jù)處理器安裝，與網(wǎng)絡(luò)兼容  
  • 使用高精度溫度傳感器進(jìn)行數(shù)據(jù)補(bǔ)償
  • 激光器穩(wěn)頻精度：一小時(shí)：2x10^9（±0.002ppm），壽命內(nèi)：2x10^8（±0.02ppm）
  • 數(shù)據(jù)同步精度：20ns   
  • 所有3軸實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)測(cè)量，無延時(shí)  
  • 可定制小型反射鏡
  • 外部觸發(fā)頻率40MHz


技術(shù)參數(shù)

位移測(cè)量范圍

15 m

位移測(cè)量分辨率

1.25 nm

位移測(cè)量精度

+/-0.4 ppm（需使用環(huán)境補(bǔ)償器）

位移測(cè)量速度

2 m/s

位移速度測(cè)量精度

1 ppm

角度測(cè)量范圍

+/-10°

角度測(cè)量分辨率

0.012角秒

角度測(cè)量精度

+/-0.1 ppm（角度沿某中心旋轉(zhuǎn)）

+/-0.02%+/-0.5+/-0.1M（M=軸向標(biāo)定距離，單位為米）

角度測(cè)量速度

90 rad/s

角速度測(cè)量精度

1 ppm

 

上圖為從一個(gè)坐標(biāo)軸方向同步測(cè)量物體的位移、偏擺和俯仰角光路圖



上圖為一個(gè)具體的3-軸干涉鏡和3-軸反射鏡系統(tǒng)，光束由激光頭發(fā)出后進(jìn)入干涉鏡，3-軸干涉鏡把輸入的光束分為三個(gè)部分：
信號(hào)光束1用于位移的測(cè)量，信號(hào)光束2用于俯仰角的測(cè)量，信號(hào)光束三用于偏擺角的測(cè)量。
所有的光束照射到被測(cè)物體（3-軸反射鏡固定在被測(cè)物體上）后再次反射到干涉鏡上，每個(gè)信號(hào)光束與反射的光束進(jìn)行干涉，然后干涉光束傳輸?shù)郊す忸^里，進(jìn)行信號(hào)分析后進(jìn)入到軟件里。

三軸測(cè)量軟件（位移、偏擺和俯仰角） 三角關(guān)系的設(shè)定
測(cè)量結(jié)果的統(tǒng)計(jì) 在位置5開始測(cè)量
位移和角度的測(cè)量 ISO230數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)

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