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氦質(zhì)譜檢漏儀

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)UL1000

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更新時(shí)間：2022-07-07 15:47:03瀏覽次數(shù)：1440次

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利方達(dá)（香港）有限公司北京辦事處

經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：8條

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

德國(guó)INFICON公司氦質(zhì)譜檢漏儀

UL1000

在檢測(cè)低至 10-12 atm cc/s 泄漏的穩(wěn)定性和敏感度方面具有新的表現(xiàn)

? CAL(智能漏率計(jì)演算)確保在全部測(cè)量范圍內(nèi)閃電般的快速響應(yīng)

詳細(xì)介紹

德國(guó)INFICON公司氦質(zhì)譜檢漏儀

UL1000氦質(zhì)譜檢漏儀

在檢測(cè)低至 10^-12 atm cc/s 泄漏的穩(wěn)定性和敏感度方面具有新的表現(xiàn)

Ø CAL（智能漏率計(jì)演算）確保在全部測(cè)量范圍內(nèi)閃電般的快速響應(yīng)

Ø 可旋轉(zhuǎn)顯示器/控制界面和可選遙控手持控制器提高操作的靈活性

Ø 更為方便的移動(dòng)式

Ø 連接口均位于一側(cè)

Ø 可靠性更高的真空系統(tǒng)

Ø 通過(guò)軟件升級(jí)可始終保持UL1000的*性能

Ø 離子源三年保修期

應(yīng)用：

Ø 半導(dǎo)體工藝設(shè)備的維護(hù)，該設(shè)備本身帶或未帶有真空泵

Ø 工藝氣體系統(tǒng)的檢測(cè)與安裝

Ø 元器件在組裝前的漏率測(cè)試

Ø 要求高抽速、高靈敏度以及清潔測(cè)試條件的應(yīng)用場(chǎng)合

技術(shù)參數(shù)

zui小可檢漏率（按AVS2.1和EN1518標(biāo)準(zhǔn)）	＜5×10^-12mbar.l/s
zui小可檢漏率（吸入器模式）	＜3×10^-8mbar.l/s
入口壓強(qiáng) 粗檢模式精檢模式超精檢模式	15 mbar 2 mbar 0.4 mbar
在抽空過(guò)程中的抽速	25立方米/小時(shí)
入口壓強(qiáng)對(duì)氦氣抽速粗檢模式精檢模式超精檢模式	8 升/秒 7升/秒 2.5升/秒
可檢質(zhì)量數(shù)	2、3、4amu, 氫，³氦，氦
電源電壓	110－120V；220－241V
重量	110公斤；242磅
尺寸，包括手把（長(zhǎng)×寬×高）	1068×525×850毫米