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膜厚監(jiān)測儀

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產(chǎn)品型號SQC160

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地北京市

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更新時間：2017-09-10 21:35:27瀏覽次數(shù)：654次

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利方達(dá)（香港）有限公司北京辦事處

經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：8條

所在地區(qū)：北京北京市

聯(lián)系人：劉建輝（區(qū)域經(jīng)理）

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產(chǎn)品簡介

SQM160是利用INFICON石英晶體傳感技術(shù)在鍍膜過程中測量沉積速率和膜厚的精密儀器，標(biāo)準(zhǔn)型有兩路傳感器輸入，同時，4路傳感器輸入可選，具體視用戶實際應(yīng)用而定；雙輸出可以向操作者提供直觀的模擬沉積速率及膜厚信號。

詳細(xì)介紹

在大型系統(tǒng)中，傳感器輸入可以分配給不同材料，采集的數(shù)據(jù)通過平均值，以達(dá)到更精確的沉積控制；也可以設(shè)定為雙探頭模式。在高沉積速率過程中，為了延長傳感器的使用壽命，速率采集模式允許探頭帶一個檔板。用戶可以自己選擇0.1Å/s 還是0.01Å/s的速率顯示模式.另外，還可以選擇頻率或質(zhì)量顯示模式。SQM160的四路繼電輸出可以用來控制沉積源、探頭檔板、信號時間、膜厚設(shè)定值以及晶片失效信號等。

數(shù)字輸入可以通過外部信號來對讀數(shù)進(jìn)行開始/停止和清零操作。SQM160石英晶體監(jiān)測儀采用了RS-232接口和Windows®窗口軟件，可以通過電腦上進(jìn)行調(diào)試安裝。軟件可以用來設(shè)置和存儲所有參數(shù)，包括儀器操作和保留程序數(shù)據(jù)到特定的Excel®文檔。同時，USB或以太網(wǎng)選項也添加通信協(xié)議中，以zui大程度方便不同用戶。

SQM160產(chǎn)品詳細(xì)介紹

便于使用

開啟速率和膜厚測量，只需先按住Zero鍵以清除上次讀數(shù)，然后關(guān)閉，打開源和傳感器檔板。寬大明亮的LED顯示器可以同時顯示膜層厚度和沉積速率，即使操作人員離監(jiān)測儀一定距離也仍然清晰可見。當(dāng)達(dá)到預(yù)設(shè)膜厚或者鍍膜時間到了，檔板就會自動關(guān)閉，同時前面板報警器開始亮燈。在鍍膜過程中，操作員可以在任意時間通過Xtal Life鍵來查看晶片的剩余使用壽命。雙菜單可以對監(jiān)測儀的99個存儲膜系進(jìn)行設(shè)置。首先，選“program”鍵，進(jìn)入菜單，然后，旋轉(zhuǎn)撥針鈕，這樣就可以選擇或者編輯參數(shù)了。主顯示界面顯示菜單提示，而設(shè)定的數(shù)據(jù)可以在輔助界面中找到。

高精度，低成本

標(biāo)準(zhǔn)型的頻率分辨率是0.12HZ@ 4個讀數(shù)/秒,如果用戶有更嚴(yán)格的需求可以選擇分辨率為0.03HZ@ 10個讀數(shù)/秒的高精型。SQM160另一大優(yōu)點是在整個工作范圍內(nèi)，溫度穩(wěn)定性可以達(dá)到2ppm。高精度和高穩(wěn)定性的聯(lián)袂使得該款儀器具備了的性價比。

產(chǎn)品特點：

■ 雙通道（標(biāo)準(zhǔn)型），四通道可選

■ 沉積速率/膜層厚度模擬輸出

■ 高精度: 0.03Hz at 10個讀數(shù)/s

■ RS-232 接口, USB 或以太網(wǎng)可選

產(chǎn)品規(guī)格

QCM傳感器輸入標(biāo)準(zhǔn)型: 2;路可選: 4路

頻率范圍 1-10 MHz

頻率分辨率標(biāo)準(zhǔn)型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec

可選: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec

頻率穩(wěn)定性在 0º to 50ºC，總計± 2 ppm

可選擇的測量周期 0.10 to 2 sec （每級增量0.05 sec）