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膜厚監(jiān)測儀

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產(chǎn)品型號(hào)SQC160

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地北京市

聯(lián)系方式:劉建輝查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2017-09-10 21:35:27瀏覽次數(shù):653次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:8條

所在地區(qū):北京北京市

聯(lián)系人:劉建輝 (區(qū)域經(jīng)理)

產(chǎn)品簡介

SQM160是利用INFICON石英晶體傳感技術(shù)在鍍膜過程中測量沉積速率和膜厚的精密儀器,標(biāo)準(zhǔn)型有兩路傳感器輸入,同時(shí),4路傳感器輸入可選,具體視用戶實(shí)際應(yīng)用而定;雙輸出可以向操作者提供直觀的模擬沉積速率及膜厚信號(hào)。

詳細(xì)介紹

SQM160是利用INFICON石英晶體傳感技術(shù)在鍍膜過程中測量沉積速率和膜厚的精密儀器,標(biāo)準(zhǔn)型有兩路傳感器輸入,同時(shí),4路傳感器輸入可選,具體視用戶實(shí)際應(yīng)用而定;雙輸出可以向操作者提供直觀的模擬沉積速率及膜厚信號(hào)。

在大型系統(tǒng)中,傳感器輸入可以分配給不同材料,采集的數(shù)據(jù)通過平均值,以達(dá)到更精確的沉積控制;也可以設(shè)定為雙探頭模式。在高沉積速率過程中,為了延長傳感器的使用壽命,速率采集模式允許探頭帶一個(gè)檔板。用戶可以自己選擇0.1Å/s 還是0.01Å/s的速率顯示模式.另外,還可以選擇頻率或質(zhì)量顯示模式。SQM160的四路繼電輸出可以用來控制沉積源、探頭檔板、信號(hào)時(shí)間、膜厚設(shè)定值以及晶片失效信號(hào)等。

數(shù)字輸入可以通過外部信號(hào)來對(duì)讀數(shù)進(jìn)行開始/停止和清零操作。SQM160石英晶體監(jiān)測儀采用了RS-232接口和Windows®窗口軟件,可以通過電腦上進(jìn)行調(diào)試安裝。軟件可以用來設(shè)置和存儲(chǔ)所有參數(shù),包括儀器操作和保留程序數(shù)據(jù)到特定的Excel®文檔。同時(shí),USB或以太網(wǎng)選項(xiàng)也添加通信協(xié)議中,以zui大程度方便不同用戶。

 

SQM160產(chǎn)品詳細(xì)介紹

 

便于使用

 

    開啟速率和膜厚測量,只需先按住Zero鍵以清除上次讀數(shù),然后關(guān)閉,打開源和傳感器檔板。寬大明亮的LED顯示器可以同時(shí)顯示膜層厚度和沉積速率,即使操作人員離監(jiān)測儀一定距離也仍然清晰可見。當(dāng)達(dá)到預(yù)設(shè)膜厚或者鍍膜時(shí)間到了,檔板就會(huì)自動(dòng)關(guān)閉,同時(shí)前面板報(bào)警器開始亮燈。在鍍膜過程中,操作員可以在任意時(shí)間通過Xtal Life鍵來查看晶片的剩余使用壽命。雙菜單可以對(duì)監(jiān)測儀的99個(gè)存儲(chǔ)膜系進(jìn)行設(shè)置。首先,選“program”鍵,進(jìn)入菜單,然后,旋轉(zhuǎn)撥針鈕,這樣就可以選擇或者編輯參數(shù)了。主顯示界面顯示菜單提示,而設(shè)定的數(shù)據(jù)可以在輔助界面中找到。

 

高精度,低成本

 

  標(biāo)準(zhǔn)型的頻率分辨率是0.12HZ@ 4個(gè)讀數(shù)/秒,如果用戶有更嚴(yán)格的需求可以選擇分辨率為0.03HZ@ 10個(gè)讀數(shù)/秒的高精型。SQM160另一大優(yōu)點(diǎn)是在整個(gè)工作范圍內(nèi),溫度穩(wěn)定性可以達(dá)到2ppm。高精度和高穩(wěn)定性的聯(lián)袂使得該款儀器具備了的性價(jià)比。

 

產(chǎn)品特點(diǎn):

 

■ 雙通道(標(biāo)準(zhǔn)型),四通道可選

 

■ 沉積速率/膜層厚度模擬輸出

 

■ 高精度: 0.03Hz at 10個(gè)讀數(shù)/s

 

■ RS-232 接口, USB 或以太網(wǎng)可選

 

產(chǎn)品規(guī)格

 

QCM傳感器輸入                  標(biāo)準(zhǔn)型: 2;路  可選: 4路           

 

頻率范圍                            1-10 MHz                           

 

頻率分辨率                          標(biāo)準(zhǔn)型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec

 

                                        可選: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec 

 

頻率穩(wěn)定性                        在 0º to 50ºC,總計(jì)± 2 ppm         

 

可選擇的測量周期                0.10 to 2 sec (每級(jí)增量0.05 sec)   

 

測量選擇                            1 to 20 readings                   

 

存儲(chǔ)膜系                            99                                 

 

模擬輸出                            2路0 to 10 VDC輸出, 沉積速率 & 膜厚 

 

數(shù)字輸入/輸出                    2 路數(shù)字輸入, 4路繼電輸出             

 

數(shù)字接口                            標(biāo)準(zhǔn)型: RS-232                     

 

                                        可選: USB or 以太網(wǎng)               

 

電源                                  0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W 

 

CE 標(biāo)識(shí)                              Class 1 equipment                 

 

                                          73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD   

 

安裝支架                            1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,   

 

                                          89 x 213 x 197mm (3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")

 

重量                                  2.7 Kg (6 lbs)                   

 

Windows軟件(included)      提供遠(yuǎn)程安裝和操作指導(dǎo),數(shù)據(jù)錄入功能

 

訂貨信息

 

附件

 

782-900-008                單臺(tái)SQM-160 19"安裝支架

 

782-900-014                雙臺(tái)SQM-160 19"安裝支架

 

782-502-062                4傳感器輸入擴(kuò)展卡     

 

                                (將標(biāo)準(zhǔn)型2路擴(kuò)展到6路)

 

782-900-042                高分辨率選件

 

                                (此項(xiàng)需在工廠中完成安裝)

 

782-900-040                USB選擇卡           

 

782-900-041                以太網(wǎng)選擇卡

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