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德國(guó)徠卡離子減薄儀 EM RES102

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更新時(shí)間：2022-09-07 14:40:40瀏覽次數(shù)：202次

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LeicaEMRES102通過LeicaEMRES102通過離子槍激發(fā)獲得離子束，以一定入射角度對(duì)樣品進(jìn)行轟擊，以去除樣品表面原子，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的離子束加工

詳細(xì)介紹

Leica EM RES102 通過

Leica EM RES102 通過離子槍激發(fā)獲得離子束，以一定入射角度對(duì)樣品進(jìn)行轟擊，以去除樣品表面原子，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的離子束加工。

Leica EM RES102主要功能為：
對(duì)無(wú)機(jī)薄片樣品進(jìn)行離子減薄，使得薄片樣品可被透射電子穿過，從而適宜TEM透射電子顯微鏡觀察；
對(duì)無(wú)機(jī)塊狀樣品進(jìn)行離子束拋光、離子束刻蝕，樣品表面離子清洗及斜坡切割，便于SEM掃描電子顯微鏡觀察樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)信息。

主要技術(shù)參數(shù)：

? 具有2把離子槍，離子束能量為0.8keV-10keV，相對(duì)位置，可分別±45°傾斜，樣品臺(tái)傾斜角度-120°至 210°，離子束加工角度0°至90°，樣品

平面擺動(dòng)角度<>

? 可選配樣品臺(tái)：TEM樣品臺(tái)（?3.0mm或?2.3mm），F(xiàn)IB樣品清洗臺(tái)，SEM樣品臺(tái)，斜坡切割樣品臺(tái)（對(duì)樣品35°或90°斜坡切割）等

? SEM樣品臺(tái)可容納樣品尺寸：直徑25mm，高度12mm

? 全無(wú)油真空系統(tǒng)，樣品室?guī)в蓄A(yù)抽室，保證樣品交換時(shí)間<>

? 全電腦控制，觸摸屏操作界面，內(nèi)置視頻觀察系統(tǒng)，可實(shí)時(shí)觀察樣品處理過程

關(guān)鍵詞：透射電子顯微鏡掃描電子顯微鏡

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