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VTC-16-D小型直流磁控等離子濺射儀

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更新時(shí)間:2024-03-15 12:09:27瀏覽次數(shù):536次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品簡(jiǎn)介:VTC-16-D小型直流磁控等離子濺射儀靶頭尺寸為2英寸,樣品臺(tái)與濺射頭之間的高度在30-80mm之間可以調(diào)節(jié)

詳細(xì)介紹

 

 

 

 

img3

 

 

產(chǎn)品簡(jiǎn)介: VTC-16-D小型直流磁控等離子濺射儀靶頭尺寸為2英寸, 樣品臺(tái)與濺射頭之間的高度在 30-80mm 之間可以調(diào)節(jié)。安裝有一可手動(dòng)操作的濺射擋板,可進(jìn)行預(yù)濺射。濺射頭對(duì)樣品的濺射時(shí)間在1-120s 之間可調(diào),若想獲得薄的薄膜,濺射時(shí)間可以設(shè)置短一點(diǎn)img4若想獲得厚的薄膜,濺射時(shí)間可以長(zhǎng)一點(diǎn)。VTC-16-D 小型直流磁控等離子濺射儀設(shè)計(jì)主要是制作一些金屬薄膜,制膜面積可達(dá)到4英寸。設(shè)備外 形小巧,性?xún)r(jià)比高,是制作各種金屬薄膜理想的鍍膜設(shè)備,可選配各種金屬靶材和真空泵搭配設(shè)備使用。

 

產(chǎn)品名稱(chēng)

VTC-16-D 小型直流磁控等離子濺射儀

產(chǎn)品型號(hào)

VTC-16-D

 

 

主要特點(diǎn)

1 、特別為 SEM 樣品鍍導(dǎo)電性薄膜設(shè)計(jì)。

2、體積小巧,操作簡(jiǎn)單,容易上手。

3、擁有小型磁控靶頭,可以鍍金銀鉑等金屬。

 

1、輸入電源: 220V AC 50/60Hz

2、功率: 200W

3、輸出電壓: 500 VDC

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

技術(shù)參數(shù)

4、濺射電流: 0-50 mA 可調(diào)

5、濺射時(shí)間: 0-120S 可調(diào)

6、濺射腔體

1)采用石英腔體,尺寸: 166 mm OD x 150 mm ID x 150 mm H

2)密封: 采用不銹鋼平法蘭的 O 形密封圈

7、濺射頭&樣品臺(tái)

l)濺射頭可安裝靶材直徑為 2 英寸, 厚度 0.1 - 2.5mm

2)濺射時(shí)間 1-120S 可調(diào)

3)儀器中安裝有直徑為 50mm 的不銹鋼樣品臺(tái), 其與濺射頭之間距離 30-80mm 可調(diào)。

4)可選購(gòu)加熱型樣品臺(tái),其加熱溫度可達(dá) 500℃

5)安裝有一可手動(dòng)操作的濺射擋板,可進(jìn)行預(yù)濺射

6)制膜的直徑可達(dá):4 英寸(僅供參考,詳情請(qǐng)點(diǎn)擊)

 

img11

 

8、真空系統(tǒng)

l)安裝有 KF25 真空接口 2)數(shù)字真空壓力表(Pa 3)此系統(tǒng)可通入氣體運(yùn)行

4< 1.0E-2 Torr    (采用機(jī)械泵)

5< 1.0E-5 Torr  (采用渦旋分子泵)

9、進(jìn)氣

l)設(shè)備上配 1/4 英寸進(jìn)氣口,方便連接氣瓶

2)設(shè)備前面板上裝有一氣流調(diào)節(jié)旋鈕,方便調(diào)節(jié)氣流

10、靶材

l)靶材尺寸要求: Φ50mm×(0.1 - 2.5) mm(厚度)

2)設(shè)備標(biāo)配為銅靶

11、產(chǎn)品外型尺寸

L460 mm × W 330 mm × H 540 mm

 

 

 

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