激情综合啪啪6月丁香,久久久久国产精品91福利,99精品日韩欧美在线观看,91成人午夜福利在线观看国产

產(chǎn)品|公司|采購(gòu)|招標(biāo)

廣電計(jì)量檢測(cè)集團(tuán)股份有限公司

電子束光刻機(jī)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱安徽澤攸科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地銅陵市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2025/7/9 10:54:05
  • 訪問(wèn)次數(shù)17
產(chǎn)品標(biāo)簽:

在線詢價(jià)收藏產(chǎn)品 點(diǎn)擊查看電話
澤攸科技成立于2016年,擁有安徽銅陵、北京、上海和東莞四家分公司,是一家具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的精密儀器高科技公司。公司專(zhuān)注于掃描電鏡、原位測(cè)量系統(tǒng)、臺(tái)階儀、探針臺(tái)、電子束光刻機(jī)等精密設(shè)備的研究,國(guó)家在科學(xué)精密儀器領(lǐng)域的諸多空白。人才是企業(yè)的核心競(jìng)爭(zhēng)力和發(fā)展的驅(qū)動(dòng)力。澤攸科技于20世紀(jì)90年代便開(kāi)啟電子顯微鏡及相關(guān)原位附件的研發(fā),已逐步打造成為科學(xué)精密儀器領(lǐng)域人才聚集地?,F(xiàn)有員工100多人,其中院士、專(zhuān)家團(tuán)隊(duì)20余人,擁有精通機(jī)械、光學(xué)、超高真空、電子技術(shù)、微納加工技術(shù)、軟件開(kāi)發(fā)技術(shù)的專(zhuān)業(yè)團(tuán)隊(duì)。為解決行業(yè)內(nèi)“卡脖子”難題,企業(yè)全力培養(yǎng)人才,重視產(chǎn)學(xué)研用合作,并與十幾家高校及科研院所建立了長(zhǎng)期合作機(jī)制,以應(yīng)用為導(dǎo)向,共同開(kāi)展行業(yè)內(nèi)關(guān)鍵共性技術(shù)開(kāi)發(fā)。雄厚的技術(shù)與人才實(shí)力,贏得了客戶的深厚信賴。在許智博士的帶領(lǐng)下,從項(xiàng)目建設(shè)、平臺(tái)搭建、產(chǎn)品創(chuàng)新抓起,公司實(shí)現(xiàn)快速發(fā)展,產(chǎn)量、銷(xiāo)售、利潤(rùn)逐年大幅增長(zhǎng)。承擔(dān)和參與了國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃、國(guó)家重大科研裝備研制項(xiàng)目等多個(gè)重量級(jí)科研項(xiàng)目,如“低溫強(qiáng)磁場(chǎng)綜合物性測(cè)量?jī)x”項(xiàng)目和“高通量生物樣品真空傳遞裝置”項(xiàng)目的立項(xiàng),并獲得包括北京市科學(xué)技術(shù)一等獎(jiǎng)在內(nèi)的多次省部級(jí)獎(jiǎng)項(xiàng)。構(gòu)建了“產(chǎn)學(xué)研用”協(xié)同技術(shù)創(chuàng)新機(jī)制,多次實(shí)現(xiàn)國(guó)內(nèi)材料表征測(cè)量設(shè)備的“國(guó)產(chǎn)替代”,相關(guān)產(chǎn)品具有較好的國(guó)際聲譽(yù)、產(chǎn)品檢測(cè)數(shù)據(jù)被國(guó)際盛名期刊采納。桌面式掃描電子顯微鏡、大行程納米位移臺(tái)、臺(tái)階儀等產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)了國(guó)產(chǎn)化零的突破,等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)、掃描隧道顯微鏡系統(tǒng)等產(chǎn)品達(dá)到國(guó)內(nèi)外優(yōu)異水平。核心產(chǎn)品經(jīng)過(guò)眾多企業(yè)驗(yàn)證,已進(jìn)入大規(guī)模量產(chǎn)階段,現(xiàn)已得到數(shù)百個(gè)高質(zhì)量用戶的盛贊,遍布國(guó)內(nèi)27個(gè)省級(jí)行政區(qū),不僅覆蓋中國(guó)多個(gè)科學(xué)實(shí)驗(yàn)室,還遠(yuǎn)銷(xiāo)海外等發(fā)達(dá)國(guó)家,在業(yè)內(nèi)享有高度好評(píng)。經(jīng)過(guò)二十多年的技術(shù)積累,以及一支專(zhuān)業(yè)的研發(fā)與生產(chǎn)團(tuán)隊(duì),澤攸科技以自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的技術(shù)為核心,在半導(dǎo)體芯片加工和材料表征測(cè)量領(lǐng)域?qū)儆趪?guó)內(nèi)。關(guān)鍵半導(dǎo)體加工與材料表征測(cè)量?jī)x器設(shè)備實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化,關(guān)鍵之處就在于實(shí)現(xiàn)自主可控。未來(lái),澤攸科技還將繼續(xù)堅(jiān)持“用精密量測(cè)賦能科技創(chuàng)新”的理念,以“科技指領(lǐng)”打破進(jìn)口納米科學(xué)儀器設(shè)備的壟斷,聚焦新材料、新能源、半導(dǎo)體、生物醫(yī)藥、基礎(chǔ)科研等前沿領(lǐng)域,實(shí)現(xiàn)自主研發(fā),打造集微納米加工、微納表征、微納操縱于一體的納米技術(shù)全產(chǎn)業(yè)鏈解決方案,加速國(guó)產(chǎn)科學(xué)科研儀器產(chǎn)業(yè)落地,助力國(guó)產(chǎn)科學(xué)儀器健康蓬勃發(fā)展。
臺(tái)階儀
澤攸科技ZEL304G電子束光刻機(jī)(EBL)采用場(chǎng)發(fā)射電子 槍?zhuān)浜弦惑w化的高速圖形發(fā)生系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)對(duì)半導(dǎo)體晶圓的高速、高分辨光刻。
電子束光刻機(jī) 產(chǎn)品信息

澤攸科技ZEL304G電子束光刻機(jī)(EBL)采用場(chǎng)發(fā)射電子槍?zhuān)浜弦惑w化的高速圖形發(fā)生系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)對(duì)半導(dǎo)體晶圓的高速、高分辨光刻。該系統(tǒng)標(biāo)配高精度激光干涉樣品臺(tái),允許用戶實(shí)現(xiàn)大行程高精度拼接和套刻需求,在新材料、前沿物理研究、半導(dǎo)體、微電子、光子、量子研究領(lǐng)域發(fā)揮重要作用。


產(chǎn)品特色

▲ 激光干涉樣品臺(tái):的激光干涉樣品臺(tái),滿足大行程高精度拼接和套刻需求

▲ 場(chǎng)發(fā)射電子槍?zhuān)焊叻直鎴?chǎng)發(fā)射電子槍是光刻質(zhì)量的重要保證

▲ 圖形發(fā)生器:在保證超高速掃描的同時(shí)實(shí)現(xiàn)超高分辨率圖案繪制


樣品臺(tái)指標(biāo)

▲ 標(biāo)配:激光干涉樣品臺(tái)

▲ 樣品臺(tái)行程:≥105 mm

▲ 拼接精度:優(yōu)于50nm(平均值+ 1σ)

▲ 套刻精度:優(yōu)于50nm(平均值+ 1σ)


電子槍及成像指標(biāo)

▲ 肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍?zhuān)杭铀匐妷?0V~30kV;旁側(cè)二次電子探測(cè)器和鏡筒內(nèi)電子探測(cè)器

▲ 圖像分辨率:≤1 nm @ 15 kV;≤1.5 nm @ 1 kV

▲ 束流密度:> 7000A/cm2;電子束流≥100nA

▲ 最小束斑尺寸:≤2nm


光刻指標(biāo)

▲ 電子束閘:上升沿<100ns

▲ 寫(xiě)視場(chǎng):≥500×500 um

▲ 最小單次曝光線寬:<15nm(同時(shí)取決于工藝條件)

▲ 掃描速度:≥20MHz


圖形發(fā)生器參數(shù)

▲ 控制核心:高性能FPGA

▲ 停留時(shí)間最小增量:10ns

▲ 掃描速度:50MHz

▲ 圖形文件格式:GDSII、DXF、BMP等

▲ D/A分辨率:20位

▲ 法拉第杯束流測(cè)量:包含

▲ 支持的寫(xiě)場(chǎng)大?。?0um~500um

▲ 臨近效應(yīng)校正:可選項(xiàng)

▲ 束閘支持:5V TTL

▲ 激光干涉位移臺(tái):可選項(xiàng)

▲ 掃描方式:順序掃描(Z型)、循環(huán)掃描(S型)、螺旋型掃描等多種矢量掃描模式

▲ 曝光模式:支持場(chǎng)校準(zhǔn)、場(chǎng)拼接,支持套刻,支持多圖層自動(dòng)曝光

▲ 外接通道支持:支持電子束掃描、工件臺(tái)移動(dòng)、束閘通斷、二次電子檢測(cè)


選配附件

▲ 配套UPS不間斷電源

▲ 配套主動(dòng)減震臺(tái),自然頻率2Hz

15700106413
產(chǎn)品對(duì)比
QQ

咨詢中心

在線客服QQ交談

市場(chǎng)部QQ交談

發(fā)布詢價(jià)建議反饋
回到頂部

Copyright hbzhan.comAll Rights Reserved

環(huán)保在線 - 環(huán)保行業(yè)“互聯(lián)網(wǎng)+”服務(wù)平臺(tái)

對(duì)比欄

提示

×

*您想獲取產(chǎn)品的資料:

以上可多選,勾選其他,可自行輸入要求

個(gè)人信息: